Design Features

　　￭ Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm

　　￭ 定位精度達（直線誤差修正后）：±1μm（Travel≤200mm）

　　￭ 穩定且優良的軸系提供了平滑運動，經算法優化可以獲得小的動態跟隨誤差

　　￭ 線性表現優良的光柵反饋系統，可以獲得point-to-point位置精度

　　￭ 標準的模塊化設計，靈活的單軸/多軸解決方案

　　￭ 整體密封結構，輕量化、高剛性結構設計，低成本，高性能

　　HPL-170LM直線電機平臺采用無鐵芯直線電機驅動，平臺行程從100至600mm。該平臺擁有優良的設計，嚴苛的軸系裝配工藝，但成本低，這使得HPL-170LM直線電機平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業應用，如半導體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領域。

　　Construction Features

　　HPL-170LM直線電機平臺采用7075#航空鋁經一體化加工成型，同時減少因導軌和鋁主體不同的熱膨脹系數引起的折彎效應。導軌對稱分布在基座兩側，減少兩種不同金屬熱膨脹帶來的影響，同時高剛性的基座將負載情況下的偏轉、滾擺降到較小。

　　導軌鋼球通過與球保持器配合使用，沿經精密研磨加工而成的4列滾動面進行滾動，實現了4方向等負荷、低重心、高剛性、高精度、平滑穩定的直線運動，出色的負載能力、長壽命、低噪音。

　　Linear Motor Drive

　　HPL-170LM直線電機平臺采用了高效率的無鐵芯直線電機作為驅動部件。該直驅平臺擁有較高的速度、較高的加速度和穩定的精度表現。由于采用零間隙傳動，可減少相關結構部件的磨損，同時減少結構部件數量。因此，HPL-170LM直線電機平臺相對于絲桿驅動，結構更加緊湊，效率更高。

　　High Performance

　　HPL-170LM直線電機平臺集成具有較好線性表現的開放式增量光柵系統，可以提供較好的的分辨率、重復性和穩定性。穩定的光學零位，保障雙向回零的重復性和可靠性。經激光干涉儀標定補償，可以輕易獲得好的定位精度。